[nikomat:09837] Re: Sukiya Camera's basement

[Koji YOSHIDA <yd@nikongw.nikon.co.jp>]

よしだ っす。

In message <199710231024.TAA23150@nikongw.nikon.co.jp>
   "[nikomat:09835] Re: Sukiya Camera's basement"
   "Nobutaka MAGOME <magome@nikongw.nikon.co.jp>" wrote:
 > まごめ＠目覚めの一発です。

一番 元気のいいやつ ですね。:-p

 > チャンピョンデータ（オリンピックデータ）ただし、ドーピングありで、
 > 90nmのＬ＆Ｓができています。５５００本/mmですね。

このドーピング かなり制約がありますよね？
狙ったＬine＆Ｓpace だけしか結像しないとか ^^;;


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 吉田幸司  Dr.Eng. 1960.03.26生♂ Rh+O   (株)ニコン
    e-mail:yd@nikongw.nikon.co.jp        半導体露光装置第３設計部
    tel:03-3773-8502                            第３システムGr.
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