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[nikomat:09874] g and i lines




しのじま@いつでもどこでも一発です。
どうも。

まごめ@目覚めの一発 さん:
      ↑
    やっぱこれやたらおかしいっす。

> 今は、g線(456nm)は終わって、i線(365nm)とエキシマKrF(248nm)に移っています。
> さらにエキシマArF(193nm)もあり、もう、ぜんぜん見えません。
波長が短い方が、ピッチ細かくできますもんね。どこまでフォーカスできるん
でしたっけ?波長の1/4くらいでした、、、、?んーー覚えてない、、、
g線,i線って何の略?

> チャンピョンデータ(オリンピックデータ)ただし、ドーピングありで、
> 90nmのL&Sができています。5500本/mmですね。
間隔180nm位になって、波長の倍か、、、、しんどそうですね。

#こやのさんからお問い合わせの軟X線のシステム、隣のグループで全く同じ
#ものもってるんだって(^^;)アイデアありゃうちに出せって言われてしまっ
#た、、、、、(^^;)