[nikomat:13357] Re: [-120 Print] (was [f-Length-2])

[Koji YOSHIDA <yd@nikongw.nikon.co.jp>]

よしだ っす。

In message <9801050514.AA01052@hiura.trdc.mhi.co.jp>
   "[nikomat:13355] Re: [-120 Print] (was [f-Length-2])"
   "hiura@trdc.mhi.co.jp (Ryota HIURA / 日浦亮太)" wrote:
 > >＃　たりが答えてくれるでしょう。ステッパーのネガなんてど
 > >＃　うなってるのかな？
 > 
 > ガラス乾板だったりして。

御名答！

レチクル(Reticle) と呼ばれる ガラス乾板です。
平面性＆透過率＆熱に対する難変形性 が とっても 大事だから。

＃ あれ？ 知ってて 言ったの？  冗談で 言ったの？？


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 吉田幸司  Dr.Eng. 1960.03.26生♂ Rh+O   (株)ニコン
    e-mail:yd@nikongw.nikon.co.jp        半導体露光装置第３設計部
    tel:03-3773-8502                            第３システムGr.
    fax:03-3775-9042                            知能システムR&D室