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[nikomat:14699] Re: [Flange-back] Flange back Killer (Re: nFM2+MD12=49K)



よしだ っす。

In message <9802100324.AA00074@lib60.aqu.hitachi-sk.co.jp>
   "[nikomat:14695] Re: [Flange-back] Flange back Killer (Re: nFM2+MD12=49K)"
   "Akio Yamada <yamada@aqu.hitachi-sk.co.jp>" wrote:

 >   こんにちは、やまだ@日立そふと です。
 > 
 > Tamotsu KOYANO <koyano@bukko.bk.tsukuba.ac.jp> さんは書きました:
 > 
 > >>  わたしの場合、「チェックしてください」って言っただけなんですが、
 > >>診断説明の時に「バックがxxmm狂ってましたんで、直しておきました」
 > >>てな感じで全て直していただきました。
 > >
 > >この数値、教えていただけませんか? 何人分かのデータが集まれば
 > >
 > >・普通に使っているとどの位狂うか
 > >・どの程度までずれを許容しているか
 > >
 > >わかると思うんですが。
 > 
 >   わたしが覚えているのは、「7/100mm凹んでいる」です。
 >   けっこう、狂っていますね。FE2だったかな。

機種(F一桁系とか)によっても 違うの*かも*知れませんが、
FG20の場合、、、

「許容誤差が 2/100mm なのに、20/100mmくらい 狂っちゃってるよ。
  一応 なんとか やってみるけど、多分 2/100には 入りきらないね。
  期待しないでね。」
「やってみたんだけど、やっぱ 許容範囲に 入りきらなかった。」

でしたから、「2/100mmなんだぁ」と思いました。


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 吉田幸司  Dr.Eng. 1960.03.26生♂ Rh+O   (株)ニコン  zip.140-8601
    e-mail:yd@nikongw.nikon.co.jp        半導体露光装置第3設計部
    tel:03-3773-8502                            第3システムGr.
    fax:03-3775-9042                            知能システムR&D室