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[nikomat:14699] Re: [Flange-back] Flange back Killer (Re: nFM2+MD12=49K)
よしだ っす。
In message <9802100324.AA00074@lib60.aqu.hitachi-sk.co.jp>
"[nikomat:14695] Re: [Flange-back] Flange back Killer (Re: nFM2+MD12=49K)"
"Akio Yamada <yamada@aqu.hitachi-sk.co.jp>" wrote:
> こんにちは、やまだ@日立そふと です。
>
> Tamotsu KOYANO <koyano@bukko.bk.tsukuba.ac.jp> さんは書きました:
>
> >> わたしの場合、「チェックしてください」って言っただけなんですが、
> >>診断説明の時に「バックがxxmm狂ってましたんで、直しておきました」
> >>てな感じで全て直していただきました。
> >
> >この数値、教えていただけませんか? 何人分かのデータが集まれば
> >
> >・普通に使っているとどの位狂うか
> >・どの程度までずれを許容しているか
> >
> >わかると思うんですが。
>
> わたしが覚えているのは、「7/100mm凹んでいる」です。
> けっこう、狂っていますね。FE2だったかな。
機種(F一桁系とか)によっても 違うの*かも*知れませんが、
FG20の場合、、、
「許容誤差が 2/100mm なのに、20/100mmくらい 狂っちゃってるよ。
一応 なんとか やってみるけど、多分 2/100には 入りきらないね。
期待しないでね。」
「やってみたんだけど、やっぱ 許容範囲に 入りきらなかった。」
でしたから、「2/100mmなんだぁ」と思いました。
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吉田幸司 Dr.Eng. 1960.03.26生♂ Rh+O (株)ニコン zip.140-8601
e-mail:yd@nikongw.nikon.co.jp 半導体露光装置第3設計部
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