[nikomat:23697] Re: ETV

[Tamotsu Koyano <koyano@physics.utexas.edu>]

長文堂でござい。
カメラじゃないけど、ちょっとだけ。

兄じゃ：
>> > それに、最後の小屋で、「大きい買い物」というから FEM とか
>> 
>> FEM??? 有限要素法??? 違うでしょうね．
>
>すいません。AFM と書こうとしてつい、頭に浮かんだ略語を
>ぽっと書いてしまいました。
>Atomic Force Microscopy 原子間力顕微鏡のことです。
>単品製作のレンズの検査とか、さきほどいいさかさんが書かれた
>原器の検査とかには使われているのではないでしょうか？？

STM、AFM、MFM、などの走査プローブ顕微鏡はプローブのＸＹＺスキ
ャンをピエゾ素子（圧電素子）でやります。兄者が想定しておられるよう
な高分解能型の場合、ＸＹ（STMはＺも）の分解能は高いんですが、ピエ
ゾでスキャンするから走査範囲は狭く最大数ミクロン四方が相場（私のＳ
ＴＭは１ミクロンっす）、サンプルは平面が基本です（私のは走査範囲内
に平面から１ミクロンずれているところがあるとアウトです）。この範囲
を出るとネジ等をつかった粗動機構で動かすことになるので像になりませ
ん（見ようとする対象が原子何〜何十個の大きさですからガタがあると絵
にならないの）。観察範囲が狭いからレンズや基準平面の曲率評価にどの
くらい役立つかは？ですが、ガラス面の研磨荒さを見るには使えると思い
ます。

＃AFMもSTMも高分解能にするには針のシャープさが命で、針の先端にある
＃数個（AFMは数十〜百個）の原子でシグナルを拾っています。いわゆる接
＃触型の３次元測定器とは桁違いです。