[nikomat:09896] Re: g and i lines

[Nobutaka MAGOME <magome@nikongw.nikon.co.jp>]

まごめ＠このメールは狭いですね。

って、仕事関係ですが、どんどんつながっていってしまう！

しのじま＠いつでもどこでも一発さん：
> 
いまは、まごめ@寝られないから数発です。
> 
> > 今は、ｇ線(456nm）は終わって、i線(365nm）とエキシマKrF(248nm)に移っていま
す。
> > さらにエキシマArF(193nm)もあり、もう、ぜんぜん見えません。
> 波長が短い方が、ピッチ細かくできますもんね。どこまでフォーカスできるん
> でしたっけ？波長の1/4くらいでした、、、、？んーー覚えてない、、、
> g線,i線って何の略？
> 
> > チャンピョンデータ（オリンピックデータ）ただし、ドーピングありで、
> > 90nmのＬ＆Ｓができています。５５００本/mmですね。
> 間隔１８０ｎｍ位になって、波長の倍か、、、、しんどそうですね。
> 
> ＃こやのさんからお問い合わせの軟Ｘ線のシステム、隣のグループで全く同じ
> ＃ものもってるんだって(^^;)アイデアありゃうちに出せって言われてしまっ
> ＃た、、、、、(^^;)
> 
この辺のお話聞かなくっちゃ、よろしくです。
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	Nobutaka MAGOME ∈ Nikon Corp.IC Equipment Div. R&D Planning Section
                           magome@nikongw.nikon.co.jp,   IFOS=nba3194
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