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[nikomat:11360] [OTF 4-3]
[OTF4-3]
<始めに>
測定法はコレで終わりの、
定義3は、瞳関数の自己相関です。
<定義3の測定法>
これは現副社長の鶴田博士が作り論文をだしています。
原理的にはわかっているものの、装置化はいろいろ難しく、実際に
役に立つ装置はつくられていないと思います。
光源からの光をレンズにとおし、出てきた光をいったん平行にして、
シェアリング干渉計を通します。このシェア量が周波数に対応します。
シェアリング干渉計とは、光束をずらしてちょうど自己相関をおこさせ
ます。円を2つ書いてください。それをはじめはぴったり重ね次第に
ずらしていきます。円左と円右が出来ますが、その円左∩円右の光量が
MTFに比例します。
どうやって、真ん中だけとるんじゃ! そりは説明が難しいのです。
いったんわけた光を再び重ねると重なった所には干渉縞が出来ます。
そして、2つの光束の位相差(これは波面の方です)を換えてやると
干渉縞は移動します。コレをつかうと、(ただし使い方によりますが)
{円左∩円右}からは交流信号が、{円左∪円右−円左∩円右}からは
直流信号がえられ、交流信号から、MTFを分離します。
これだけじゃあ、説明できないね!
難しいとわかっていただけたらOKです。
次回からは、もっと実際的な話にしていきましょう。
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馬込 伸貴 ∈ (株)ニコン 精機・開発推進室(大井です)
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