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[nikomat:12350] Re: [Rubber]HR-4
よしだ@悪魔のささやき です。
ちなみに ラバーフード HR-4 (for E50/1.8 & E35/2.5) ですが、
E50/1.8 では伸ばして使用、E35/2.5 では畳んだまま使用
ということに なってます。
劣化したら E35/2.5 にするっちゅう考え方も有り。
ゴムの劣化原因:
(1) 紫外線による硬化 → 外で使う。
(2) 熱による硬化 → 黒いから熱吸収する。
(3) 繰り返し応力による硬化 → しまう時は畳む。
In message <9712111310.AA13513@bukko.bk.tsukuba.ac.jp>
"[nikomat:12347] Re: [Rubber]HR-4"
"Tamotsu KOYANO <koyano@bukko.bk.tsukuba.ac.jp>" wrote:
>
> #ディスコンのフードを2つガメるのは反社会的と思う今日この頃。
えらい!!
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吉田幸司 Dr.Eng. 1960.03.26生♂ Rh+O (株)ニコン
e-mail:yd@nikongw.nikon.co.jp 半導体露光装置第3設計部
tel:03-3773-8502 第3システムGr.
fax:03-3775-9042 知能システムR&D室