[nikomat:12631] Re: [---yota]BARBIE

[Koji YOSHIDA <yd@nikongw.nikon.co.jp>]

よしだ＠絶不調 です。

In message <199712170403.NAA13427@nikongw.nikon.co.jp>
   "[nikomat:12628] Re: [---yota]BARBIE"
   "magome@nikongw.nikon.co.jp (magome nobutaka)" wrote:
 > ＃ところで、網タイツの発明者はやっぱり男かな？　　えらいっ！

室長が 拘るのは、全て 職業病に起因するものです。（本当か？）

【Ｌ／Ｓ(Line and Space)】

 [光学] 幅ｎの線分が 幅ｍの間隔で 整列することにより 構成される縞模様。
        光学機器の解像力チャートや、半導体製造機器におけるアライメント
        マークなど、工業的に 広く用いられている。 
 [Ａρ] 脚などの自由曲面上にＬ／Ｓが描かれていると、観察点からの自由曲
        面の接平面の為す角により、見かけのＬ／Ｓは 自由曲面に倣って連
        続的に変化する。照射する光線の波長とＬ／Ｓのピッチの関係により、
        一定角度以上を為すと、Ｌの色しか見えなくなる。
        これを避けるためには、i線やg線などが持ちいられるのが通常である。
        なお、およそ ｎ／ｍ ＜ １０ であるとき、そのＬ／Ｓを 網タイツと言う。



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 吉田幸司  Dr.Eng. 1960.03.26生♂ Rh+O   (株)ニコン
    e-mail:yd@nikongw.nikon.co.jp        半導体露光装置第３設計部
    tel:03-3773-8502                            第３システムGr.
    fax:03-3775-9042                            知能システムR&D室