Kenji Matsushita wrote: > 私も見ました：） > > Ken Iisaka writes: > |ステッパー恋豆は10万分の1ミリの精度で作製されているとのことですが、１０ > |nmっつうことは100オングストロームっすよねぇ。ひえ〜っ。波長の何十分の一 > |ではないですか。 > > 光って言っても可視光線じゃないんじゃないかなぁ。 > 今のLSIのプロセスって、0.3um(=300Å?)位じゃなかったかなぁ? あれ？0.3μは3000Åっすよね？ 因みに番組で登場したステッパーは青色光で露光しているように見えましたが、どう なんでせう？ しかし、ニュートンリング検査の原器はどうやって作るのだろう？（企業秘密でし ょ？）