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[nikomat 1052] Re: microscope lens question



よしだ っす。

顕微鏡のときも ステッパーでも 開口は NA で言うので、
NAと聞くと仕事モード、Fナンバーだと趣味モードになって
しまう。

# っつうことで、レンズ自動設計も 趣味モードで 仕事してる (^^;;

In message <199901221219.VAA35992@ml.asahi-net.or.jp>
  at Fri, 22 Jan 1999 21:17:24 +0900
  "[nikomat 1047] Re: microscope lens question" 
  "N. Magome" <magome@nikongw.nikon.co.jp> wrote : 
 > 
 > 何が、違うかが非常に大切なのですが、顕微鏡は見える範囲がとっても小さいので、
 > レンズの収差はない/理想結像と言ってよい。それに比べて、カメラレンズは
 > フィルム面積全面に写るわけですから、その分収差がおおきい、だから、絞った方が
 > 像は良くなります。

写真レンズは、絞って使うことも考えて設計されてます。
例えば、カメラの測距システム(スプリットやAFセンサ)が どの
光束を把握するか(スプリットは f5.6の光束ですね)とかも考慮
されてます。

# どんなレンズの球面収差も、f5.6あたりでは絶対量が同じ位に
# なっているのは、アサカメ診断室とかを見ても分かりますよね。

また、撮影距離が 可変であることも考慮されてます。
基本的には無限遠で設計されますが、近距離性能を考慮して 後から
手直しされたりもします。

これに対し、顕微鏡の場合、NA固定&作動距離固定 ですので、
より ギンギンに理想的な設計が可能になります。
NAが大きいと解像度も上がる という 理想的情態に。。。

# 顕微鏡で ボケ味や 2線ボケを 云々する奴も 居ないだろうし (^^)

 > そこで、対物レンズのNAが大きいということは、回折光をたくさん拾えるということで
 > 明るさ以上に重要なことは、より回折した光ほど物体の細かな情報を持っているんです。
 > よって、回折光がたくさん拾えるということは、たくさんの情報、しかもより細かな
 > 情報を拾える。  すなわち分解能が高い。

特に回折光などは、上記 顕微鏡が持つ 実用上の制約が無いと、
拾い切れるものでは ありませんよね。

# デフォーカスさせると、回折光は あっちゃこっちゃに散乱します。
# だから ウェハのアライメント(ydの仕事)は 大変なのだぁ!!!

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Koji YOSHIDA   <yd@nikongw.nikon.co.jp>
 Nikon Corp.                         1-6-3 Nishi-Ooi
 3-10th System Designing Group.      Shinagawa-ku
 IC Equipment Div.                   Tokyo 140-8601 JAPAN
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