[nikomat 20082] Re: local news

["N. Magome" <magome@nikongw.nikon.co.jp>]

まごめっす。

そんなに詳しくないのですが、

> > シランガスって何でしたっけ？
> 半導体製造関係のガスではなかったでしたっけ？

SiH4ですね。　詳しくはモノシランという。　物知らんす。

空気中に噴射するだけで発火しますから危険で、毒性も高いです。
半導体のシリコンウエハ上に、Siを付けたり、SiO2を付けるときに
使うのでしょう？　　SiO2はうぞかもしれませんが。

お客様先で、館内放送で「発火性のガスが検知されました、全員速やかに
退出してください」とクールな女性のアナウンスが入ることがありました。
シランか知らんですが、怖かった。

すれ違いに、酸素ボンベをしょい、防火マスクに防火服を着た人が
掛け込んで行きました。
　　結局は、アルコールらしかった。


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