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[nikomat:15542] Re: [F3] I bought one
In message <199803031058.TAA23739@tobi.kuee.kyoto-u.ac.jp>
"[nikomat:15541] Re: [F3] I bought one "
"HIURA Shinsaku <shinsaku@vision.kuee.kyoto-u.ac.jp>" wrote:
> FE系とかは、フレネルの度を強くした上、それをレンズ側に配置
> することで、これを避けているのだと思います。
FEには あったという記憶あり。
あれ? マートEL と 勘違いしているかな??
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吉田幸司 Dr.Eng. 1960.03.26生♂ Rh+O (株)ニコン zip.140-8601
e-mail:yd@nikongw.nikon.co.jp 半導体露光装置第3設計部
tel:03-3773-8502 第3システムGr.
fax:03-3775-9042 知能システムR&D室