[nikomat 18053] Re: Ultra Micro Nikkor 28/1.8

[Tanabe Hayao <tanabe@strl.nhk.or.jp>]

たなべです。

At 8:47 PM +0900 00.12.12, Hiroshi SATO wrote:
> 佐藤（ひ）です。
>
> スキヤカメラの委託コーナーに
> ウルトラ・マイクロ・ニッコール28/1.8なるものが置いてありました。
> 全長10cm、直径4cmくらい。
> これはいったい何者なのでしょう？
> 店員さんが忙しそうでしたので詳しいことを聞けませんでした。

ウルトラマイクロニッコール28/1.8には２種類あります。
28/1.8eと28/1.8hです。
以下それぞれのカタログからの説明です。

ウルトラマイクロニッコール28mm/1.8e
銀塩乳剤の超高解像力乾板を使用し、撮影光に波長546.1ｍμ：ｅ線
単色光を用いてフォトマスクを制作する目的で作られた超高解像力
レンズです。
主としてフォトリピーターに装着され、逐次露光法により集積回路の
フォトマスク製作に使用されます。
撮影倍率は1/10倍に指定されていますが、この倍率では画像サイズ
8ｍｍφ（5.6mm角）の全面で600本/mm以上の解像力を持っています。
画像サイズ７ｍｍφ内では６５０本／ｍｍ、６ｍｍφ内では７００
本／ｍｍの解像力を　示します。

ウルトラマイクロニッコール28mm/1.8h
撮影光に波長404.7ｍμ：ｈ線単色光または、波長435.8mμ：ｇ線
単色光或いはｇ線とｈ線を同時に用いて、フォトレジストを塗布した
基板に微細なパターン像を焼きつける目的で造られた超高解像力レン
ズです。主としてフォトレピーターに装着され、逐次露光法により
集積回路用クロームマスクの制作に使用されます。撮影基準倍率は
1/10倍で、画像サイズ８ｍｍφ（5.6mm角）の全面に750本/mm、
7mmφでは８００本／ｍｍ、6mmφでは900本/mmの解像力を持って
います。

ということで現在のまごめさんのお仕事の先祖様ですね。
フォトレピーターというのは今のステッパーのことでしょうか。

指定倍率、指定波長でないと性能の出ないもののようです。
しかし９００本ということは１．１μｍですか。現在は0.13μｍ
くらいだから、３０年ほどで１０倍の進歩ですね。