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[nikomat 18056] Re: Ultra Micro Nikkor 28/1.8

まごめです。

たなべさん：

> ウルトラマイクロニッコール28/1.8には２種類あります。
> 28/1.8eと28/1.8hです。
> 以下それぞれのカタログからの説明です。

黄色の本ですね。たぶん。

> 主としてフォトレピーターに装着され、逐次露光法により
> 集積回路用クロームマスクの制作に使用されます。撮影基準倍率は
> 1/10倍で、画像サイズ８ｍｍφ（5.6mm角）の全面に750本/mm、
> 7mmφでは８００本／ｍｍ、6mmφでは900本/mmの解像力を持って
> います。
> 
> ということで現在のまごめさんのお仕事の先祖様ですね。
> フォトレピーターというのは今のステッパーのことでしょうか。

まずは、使い道から、
　　コンピュータからの作画ででっかいICやLSIの原図を作り、
　　今では、ダイレクトにEB（電子描画機）で石英ガラスに
　　回路を描いて行きます（正確には石英ガラスにクロムを蒸着し
　　その上にフォトレジスト（感光材料）を塗布、それにEBで
　　露光、その後現像しクロムをエッチング）。

その昔、（今も使っているが）、コンピュータからXYプロッタの
ペンをナイフの刃先に換えて、特殊な紙に斬りつけます。
　特殊な紙とは、ベースの紙に赤いビニールがコートされたもので
刃先により、赤いビニールだけ斬り、それをはがすと、赤白の２値画像が
出来ます。
　それをウルトラマイクロレンズで石英ガラスに縮小投影して（繰り返す
こともある）原版を作るわけです。

さて、フォトリピータとは、ある原版を同じ石英ガラスに繰り返し露光する
装置を言います。　光で繰り返すから、フォトリピータ。

その原版は１：１の密着やさらに縮小投影で、シリコンウエハに露光されます。

その、ウエハに露光する装置をステッパーといいます。
ステッパーももちろん同じ画像をウエハに露光しますが、なぜか呼び名は違う。

近頃は、それをスキャンしながら露光していきます。
そうすると、原版とウエハは逆方向に違うスピード（倍率がある）で移動し
ながら露光するのです。　相対速度がずれてはいけないので、レーザ干渉計で
逐次位置・速度制御をしており、相対位置ズレがRMSで20nmを切っています。

大変な装置で、私を悩ましております。

というわけで、たなべさんのおっしゃる通り、フォトリピータはステッパやスキャ
ナーの祖先です。



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