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[nikomat 18054] Re: Ultra Micro Nikkor 28/1.8



追加です。

eとhに分かれる前にウルトラマイクロニッコール28/1.8という
のもあったようです。
こちらは4mmφで700本となっており、歪曲もわずかに多いです。 
画像サイズも小さく重量もずっと軽いですが、基本的な構成は
同じようです。

At 1:14 AM +0900 00.12.13, Tanabe Hayao wrote:
> たなべです。
>
> At 8:47 PM +0900 00.12.12, Hiroshi SATO wrote:
> > 佐藤(ひ)です。
> >
> > スキヤカメラの委託コーナーに
> > ウルトラ・マイクロ・ニッコール28/1.8なるものが置いてありました。
> > 全長10cm、直径4cmくらい。
> > これはいったい何者なのでしょう?
> > 店員さんが忙しそうでしたので詳しいことを聞けませんでした。
>
> ウルトラマイクロニッコール28/1.8には2種類あります。
> 28/1.8eと28/1.8hです。
> 以下それぞれのカタログからの説明です。
>
> ウルトラマイクロニッコール28mm/1.8e
> 銀塩乳剤の超高解像力乾板を使用し、撮影光に波長546.1mμ:e線
> 単色光を用いてフォトマスクを制作する目的で作られた超高解像力
> レンズです。
> 主としてフォトリピーターに装着され、逐次露光法により集積回路の
> フォトマスク製作に使用されます。
> 撮影倍率は1/10倍に指定されていますが、この倍率では画像サイズ
> 8mmφ(5.6mm角)の全面で600本/mm以上の解像力を持っています。
> 画像サイズ7mmφ内では650本/mm、6mmφ内では700
> 本/mmの解像力を 示します。
>
> ウルトラマイクロニッコール28mm/1.8h
> 撮影光に波長404.7mμ:h線単色光または、波長435.8mμ:g線
> 単色光或いはg線とh線を同時に用いて、フォトレジストを塗布した
> 基板に微細なパターン像を焼きつける目的で造られた超高解像力レン
> ズです。主としてフォトレピーターに装着され、逐次露光法により
> 集積回路用クロームマスクの制作に使用されます。撮影基準倍率は
> 1/10倍で、画像サイズ8mmφ(5.6mm角)の全面に750本/mm、
> 7mmφでは800本/mm、6mmφでは900本/mmの解像力を持って
> います。
>
> ということで現在のまごめさんのお仕事の先祖様ですね。
> フォトレピーターというのは今のステッパーのことでしょうか。
>
> 指定倍率、指定波長でないと性能の出ないもののようです。
> しかし900本ということは1.1μmですか。現在は0.13μm
> くらいだから、30年ほどで10倍の進歩ですね。