[nikomat 35173] Re: デジの縦横比

["N.Magome" <mgm@md.neweb.ne.jp>]

まごめです。

ひうらさん：

さすがに研究されていますね。

> ただし最近は，大物のチップはこのようにせず，スキャン露光になっています．
> スキャナが絵を読み取るように，ライン状に露光させながらウェハとマスク
> （原版）を同時にうまくずらしていき，ハケで塗るように露光していく．
> これだと一辺がイメージサークルに納まればよく，むしろ長方形のチップを
> 作ったほうがでかいのが作れるってことになっていますね．

そうです。　でもレンズの中のある直径（幅は少し）しか使わないので、硝材が
もったいないですよね。　　レンズを小さくして複数ショットをつないで合成して
1つのチップにすることは昔から考えられていますが、繋ぐところを任意に設定
するのは線幅管理から非常に難しく、いまだ実用にはなっていません。
　　ただし、この方法でレチクルを作るのはやりました。
　　（学会で発表、私は名前参加ですが）

> ・・・で，丸いＣＣＤという問題ですけど，これは，画素が丸く並んでいる
> だけが良いのか，チップも丸くないといかんのかって問題がありますね．
> 現状では完成したウェハから回転カッターで切り出していると思うので
> 長方形の配列でないと切り出せないですね．六角形も無理．
> 最終手段は，ウェハ丸ごと１つのチップにするか・・ ^^;

　　切り出しですが、そのとおりで回転ダイアモンドのこぎりが使われていますね。
幅は５０から100ミクロンくらいです。　　幅が狭いほど、切断時間の短縮になる
とかですが、切り代に実は消したい情報があったりして、実用的には80ミクロン
位が使われていますね。
　　（日本のDISCOと言う会社がほぼ独占してます）
　　しかし、のこぎりからレーザカッターに代わろうとする新製品が出てきそうです。
赤外のレーザを切り代にフォーカスすると、Si内部で熱変性層が出来、そこで
パキンと割れるそうです。　　のこぎりでは断面が汚いが、こちらはスムーズだそうです。
　　そうなると、円形にも切れる可能性が出てきましたが、・・・進歩するものですね。
　　（こちらは浜フォトの開発）

ちょっとわき道でした。